Фото: Минпромторг России Специалисты НИИМЭ и НИИТМ, которые находятся в подмосковном Зеленограде, в интересах Минпромторга завершили разработку российских установок с плазмохимическим травлением и осаждением, рассчитанных на выпуск полупроводниковой продукции по…